装置製作

1 Chamber​
Load Lock

本装置はフィルムを透過する各種ガス及び水蒸気の透過率を測定する透過ガス分析装置です。

 

【特長】

・超高真空技術により、高感度で測定ができます。

・産業技術総合研究所が開発した校正器(標準コンダクタンスエレメント, SCE)内臓のため、トレーサビリティの確保による信頼性の高い絶対量測定ができます。

・水蒸気、酸素、窒素などの多種にわたる透過率測定ができます。

・各種測定環境下(温度や湿度)での測定ができます

 

【装置構成】

 本装置は次の各部分より 構成されています。

(1) 試料室

 バリアフィルム等のガス透過率測定用試料室です。

(2) 水蒸気発生部

 任意の温度(室温~85℃)に設定できる水蒸気発生部です。

(3) ガス導入部

 絶対圧計測のための過熱型ダイヤフラム真空計を装備しています。

(4) 標準コンダクタンスユニット

 独立行政法人産業技術総合研究所発行の校正証明書付の標準コンダクタンスエレメントを組み込んだ透過ガス絶対値測定用のユニットです。国際規格 ISO/TS 20175:2018

(5) 計測部

 四重極質量分析器を使用しています。

(6) 真空排気部

 計測部の真空排気をターボ分子ポンプ2段(タンデム型)で排気する構造を採用しています。

(7) 制御部

タッチパネルによるマニュアルおよび自動制御で排気系の操作を行います。

2 Chamber​

【Load Lock】 

 測定試料の脱ガスを別室で行うことにより試料セットから測定開始までの時間を短縮できます。

【2Chamber】

 2枚の試料を同時に測定できます。

【改造】

 お客様所有の真空ポンプ,真空計,質量分析器を用いて新たに製作することも可能です。